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超聲波掃瞄 (SAT 檢測)：超聲波于不同密度材料之反射速率及能量不同的特性，來進行分析。利用純水當(dāng)介質(zhì)傳遞超聲波信號，當(dāng)信號遇到不同材料的接口時，會部分反射、部分穿透，機臺就會接收這些信號組成影像。 ′應(yīng)用范圍：檢測芯片組件內(nèi)部不同位置的脫層(Delaminaiton)、裂縫(Crack)、氣洞及粘著狀況，檢察芯片封膠內(nèi)的缺陷。

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